Products

先端パッケージ市場に革新的技術で高解像、高位置合わせ、高生産性の両立を実現した最適なダイレクトイメージング露光装置を提案。

IMAGINA series

DI露光機

IMAGINA 01P

IMAGINA01Pは、L/S=4/4umの高解像パターンニング形成を独自の最先端光学技術により実現し、高効率駆動のプラットフォームと補正アルゴリズム技術の組み合わせにより、生産性の大幅向上、高精度アライメント、省スペース化、を実現した次世代のダイレクトイメージング露光装置です。LE-TECHNOLOGYはお客様の求める、高解像性、生産性、補正強化、省スペース化、装置の柔軟性を追求しております。

ResolutionL/S=4/4um
Light SourceLD375nm or 405nm
Alignment Ave.Ave.+3σ≦3.5um
StageDouble Side
Imaging Size515 x 515mm
Through-Put30sec/panel @80mj
Machine Size3,600(W) x 2,900(D) x 2,550(H)mm

IMAGINA 01SR

IMAGINA01SRは、IMAGINA01Pの高解像性パターニング形成技術、高効率駆動のプラットフォーム技術を受け継いだ、次世代ソルダーレジスト及び汎用ドライフィルムへの幅広い露光波長に適応し、高解像性を両立した次世代のダイレクトイメージング露光装置です。また、独自の高処理制御エンジンと高効率駆動のプラットフォームにより大幅に生産性が向上しております。

ResolutionSRO=φ30um
Light SourceLD375nm + 405nm
Alignment Ave.Ave.+3σ≦3.5um
StageDouble Side
Imaging Size515 x 515mm
Through-Put35sec/panel @200mj
Machine Size3,600(W) x 2,900(D) x 2,550(H)mm

DI露光機

Direct Imaging Exposure Apparatus

DI露光機は、プリント基板製造工程において、基材に配線パターンを形成するために使用される装置の一つです。従来のマスク型露光機と違い、設計図をデジタル情報に直接変換し、それをもとにレーザー光を照射してパターンを形成するため、高精度なパターン形成が可能です。

プリント基板

Printed Circuit Board

プリント基板 とは、プラスチックなどでできた板状の部品で、電子回路を構成するための基板の一つです。表面に銅などの金属で微細な配線パターンが形成され、電子部品や 集積回路 (IC)を繋ぐコンピュータや電子機器の心臓部とも言える重要な部品の一つです。

パッケージ基板

Semiconductor Package Substrates

パッケージ基板とは、半導体チップとマザーボードを電気的に接続するための基板です。パッケージ基板は、ICチップと一体となって機能する重要な部品であり、半導体の進化に合わせて付加価値がさらに高まっています。

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以下のメールアドレスに、お問い合わせください。

le-sales[アットマーク]le-technology.co.jp