IMAGINA series
DI露光機
IMAGINA 01P
IMAGINA01Pは、L/S=4/4umの高解像パターンニング形成を独自の最先端光学技術により実現し、高効率駆動のプラットフォームと補正アルゴリズム技術の組み合わせにより、生産性の大幅向上、高精度アライメント、省スペース化、を実現した次世代のダイレクトイメージング露光装置です。LE-TECHNOLOGYはお客様の求める、高解像性、生産性、補正強化、省スペース化、装置の柔軟性を追求しております。
ResolutionL/S=4/4um
Light SourceLD375nm or 405nm
Alignment Ave.Ave.+3σ≦3.5um
StageDouble Side
Imaging Size515 x 515mm
Through-Put30sec/panel @80mj
Machine Size3,600(W) x 2,900(D) x 2,550(H)mm
IMAGINA 01SR
IMAGINA01SRは、IMAGINA01Pの高解像性パターニング形成技術、高効率駆動のプラットフォーム技術を受け継いだ、次世代ソルダーレジスト及び汎用ドライフィルムへの幅広い露光波長に適応し、高解像性を両立した次世代のダイレクトイメージング露光装置です。また、独自の高処理制御エンジンと高効率駆動のプラットフォームにより大幅に生産性が向上しております。
ResolutionSRO=φ30um
Light SourceLD375nm + 405nm
Alignment Ave.Ave.+3σ≦3.5um
StageDouble Side
Imaging Size515 x 515mm
Through-Put35sec/panel @200mj
Machine Size3,600(W) x 2,900(D) x 2,550(H)mm
DI露光機
Direct Imaging Exposure Apparatus
プリント基板
Printed Circuit Board
パッケージ基板
Semiconductor Package Substrates
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