DI 露光装置「LAMBDI」を NEDO から受注

インターポーザーおよびパッケージ基板向け DI（Direct Imaging）露光装置
「LAMBDI（ラムディ）」において世界初となる L/S = 0.5μm クラスの開発に成功、この度、
NEDO（国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構）から、大阪公立大学を通じて
受注いたしました。

https://www.vtec.co.jp/ja/ir/news/auto_20260407599781/pdfFile.pdf